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Edwards

nXDS干式渦旋真空泵介紹及工作原理

發布時間:2023-06-29 15:43:29 人氣:1381

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nXDS干式渦旋真空泵是一種先進的真空泵,采用干式渦旋技術,適用于廣泛的真空應用,包括科研、工業和半導體等領域。下面是對其介紹及工作原理的概述:

干式渦旋真空泵不需要使用潤滑劑,避免了傳統渦旋泵中由于油蒸汽和污染物引起的問題。

nXDS系列具有效率高、可靠和安靜的特點,能夠提供穩定的高真空和快速的抽氣速度。

它采用獨特的渦旋技術,使得泵內部的旋轉葉輪和固定葉輪之間無接觸,從而減少磨損和維護需求。

工作原理:

吸入階段:

當真空泵啟動時,驅動電機帶動旋轉葉輪開始旋轉。

旋轉葉輪的設計使得氣體被吸入并向外周轉動。

氣體被推向泵的出口方向,同時在泵的軸向方向被擠壓。

壓縮階段:

在壓縮階段,氣體在軸向方向被壓縮。

旋轉葉輪的高速旋轉產生離心力,將氣體推向固定葉輪。

氣體在旋轉葉輪和固定葉輪之間的壓縮腔中被壓縮。

壓縮過程中,氣體的壓力逐漸增加,同時體積減小。

排出階段:

壓縮后的氣體進一步通過排氣口被排出。

在排氣口處,真空泵與外部真空系統或容器連接。

排出的氣體被推送到外部環境或真空系統中,從而形成所需的真空。

干式渦旋真空泵由于其無油、沒有污染的特性,在一些對真空純凈度要求較高的應用中得到廣泛應用,例如在半導體制造、電子顯微鏡、質譜儀和光學薄膜等領域。

愛德華nXDS干式渦旋真空泵

愛德華nXDS干式渦旋真空泵

以上就是北京麥迪森科技有限公司提供的nXDS干式渦旋真空泵介紹及工作原理的介紹。

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