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所謂真空漏率是指相對負壓封閉空間進入氣體的速率。真空閘閥在出廠前需要對漏率進行檢測，查看漏氣率是否符合要求。

通常漏氣可分為實漏和虛漏。

實漏：氣體通過系統上的漏孔或間隙從高壓側流到低壓側的現象。

虛漏：相對實漏而言的一種物理現象。這種現象是由于材料放氣、解吸、凝結氣體的再蒸發、氣體通過器壁的滲透及系統內死空間中氣體的流出等原因引起真空系統中氣體壓力升高的現象。氣密性是表征真空系統器壁防止氣體滲透的性能，它包括通過漏孔(或間隙)的漏氣和材質的滲氣。

而真空技術中所指的漏孔，由于尺寸微小、形狀復雜、形式多樣，無法用幾何尺寸表示其大小。所以一般用等效流導或漏氣速率(簡稱為漏率)表示漏孔的大小。

特殊真空閘閥

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