JJ X-Ray設計和生產用于超精細分辨率的整體式位移臺 MONOLITHIC STAGE。這些位移臺適用于UHV和低至 0.01 arcsec (50 nrad)的角分辨率。可根據客戶對分辨率、尺寸和負載的要求而生產的。

JJ X-Ray 開發了基于不銹鋼整體式位移臺的theta旋轉和chi旋轉。整體平臺的中心部分通過薄壁連接相對于外部部分旋轉。為了提高分辨率，壓電致動器作用在一個靈活的杠桿臂上，將分辨率降低了4倍。平臺的角度范圍為 1mrad，負載能力為 1-10kg。

MONOLITHIC STAGE

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